“许振🜛🂴📄鸣🔵是外🍁行人,能知道这台光刻机的技术原理么?”
“锦上添花没有雪中送炭来得划🞾🙴算,我还是等到最后🕙🍥再亮出底牌才🛧🞴😗好。”
犹豫半天,梁宋松还是忍住了,没🐳把自己的判断和设想说出来。他转🎽🖨🕈过脸去,开始安排自己小组的实验流程工序。
这时。
郝宁教授的小组成员已经进入状态,把激光能量🅴测试仪、激光光谱分析仪、激光头焦距测试仪等各种仪器调试好,随时可以进入🕋测试状态。
见郝宁教授小组的准备工作已经就绪,梁宋松伸手捋了捋头上油光泽亮的头发,表情严肃的下令:“🝏郝教授,咱们开始试验,第一步是测试🗳激光⛥🜢能量的衰减率。”
“开始试验!把能量测试仪调整到自动调节运行状态,每一个0.00🝁1毫米的高度测试一组数据。”郝宁扫了一眼梁宋松,随后就进入工作状态。
激光光路系统的能量测试难度非常大,空间高度每相差0.001毫米,😭激光在空气中消耗的能量就会衰减一个数据级。而激光能量的最终值会影响到激光曝光的强度,影响到芯片光刻物理线路图的精度。🜰🅯
梁宋松之所以把这个测试项目放在第一步,也正是因为如此。但他此时却不慌不忙,好像已经知道测试👯以后的数据一般。
“第一个节点数据正常,激光能量衰减度低于0.00🆀9的数据级。”
“第🞒二个节点数据也正常,能量衰减度低于0.0095的数据级。”
“第三个节点数据更漂亮……”
随着激光能量测试靶子的不断下降,工作站监视器上🕙🍥的数据在不断🛧🞴😗跳动着。郝宁等人看着数据,嘴里也不自觉的说出测试数据的结果🁵。
这些数据都在规定范围之内,表明这套米国佬生产的激光光路系统质量🝁非常稳定。
“老米的产品质量的确非常好。”
“谁说不是呢。体积小功率大,噪音也小,功耗还非常低。🏓🙧要是我们生产😭的激光光路系统能达到这种标准就好了。”
“我们的激光发生器做不到这一点。机械加工精度不如人家、光学仪器加工精度不如🗕🛝🝙人家、光学材料的质量不如人家。我们拿什么来人家比?”
胡磊和李峰两个老头子,一边关注着监视器,一边无奈的摇着头。他们在赞🄶🂇叹这台🌳🃉激光光路系统的同时,又有🂣🐧点无可奈何。
“锦上添花没有雪中送炭来得划🞾🙴算,我还是等到最后🕙🍥再亮出底牌才🛧🞴😗好。”
犹豫半天,梁宋松还是忍住了,没🐳把自己的判断和设想说出来。他转🎽🖨🕈过脸去,开始安排自己小组的实验流程工序。
这时。
郝宁教授的小组成员已经进入状态,把激光能量🅴测试仪、激光光谱分析仪、激光头焦距测试仪等各种仪器调试好,随时可以进入🕋测试状态。
见郝宁教授小组的准备工作已经就绪,梁宋松伸手捋了捋头上油光泽亮的头发,表情严肃的下令:“🝏郝教授,咱们开始试验,第一步是测试🗳激光⛥🜢能量的衰减率。”
“开始试验!把能量测试仪调整到自动调节运行状态,每一个0.00🝁1毫米的高度测试一组数据。”郝宁扫了一眼梁宋松,随后就进入工作状态。
激光光路系统的能量测试难度非常大,空间高度每相差0.001毫米,😭激光在空气中消耗的能量就会衰减一个数据级。而激光能量的最终值会影响到激光曝光的强度,影响到芯片光刻物理线路图的精度。🜰🅯
梁宋松之所以把这个测试项目放在第一步,也正是因为如此。但他此时却不慌不忙,好像已经知道测试👯以后的数据一般。
“第一个节点数据正常,激光能量衰减度低于0.00🆀9的数据级。”
“第🞒二个节点数据也正常,能量衰减度低于0.0095的数据级。”
“第三个节点数据更漂亮……”
随着激光能量测试靶子的不断下降,工作站监视器上🕙🍥的数据在不断🛧🞴😗跳动着。郝宁等人看着数据,嘴里也不自觉的说出测试数据的结果🁵。
这些数据都在规定范围之内,表明这套米国佬生产的激光光路系统质量🝁非常稳定。
“老米的产品质量的确非常好。”
“谁说不是呢。体积小功率大,噪音也小,功耗还非常低。🏓🙧要是我们生产😭的激光光路系统能达到这种标准就好了。”
“我们的激光发生器做不到这一点。机械加工精度不如人家、光学仪器加工精度不如🗕🛝🝙人家、光学材料的质量不如人家。我们拿什么来人家比?”
胡磊和李峰两个老头子,一边关注着监视器,一边无奈的摇着头。他们在赞🄶🂇叹这台🌳🃉激光光路系统的同时,又有🂣🐧点无可奈何。