“许董,按照目前的情况来看,我们集团公司生产的激光光路系统应该能跟老外的光刻机配套。”胡明镇只有九层把握,并没有把情况说死。他还是有点担心这套激光光路系统🁁🂴不能提供精准的激光光源。

    光刻机的原理和照相机的原理基本一样,都是用曝光🛬🟚来成像。但第三代光刻机的精度非🂯常高,最低可达到0018微米。倘若再使用ffet制程技术和浸润式光刻制程技术,精度要达到001微米以下。

    由此可以想到,第三代光刻机对激光光源的功率、稳定性🔏⛌的要求肯定非常高,一⛴🞦🖙般的国家不能生产这种尖端设🕎🈣备。这也是胡明镇所担心的事情。

    胡明镇一边说话,一边指挥着李全等人怎么组装激光发生器、光学仪器、光学镜头等精密设备。这套🚁装配流程非常重要,能直🌆☛⛮接影响到激光光路系统的精度和可靠性,胡明镇不得不小心行事。

    “装配工作什么时间能完成?”

    看到李🃁全等人的进度不是很快,许振鸣认为站在这里没啥意思,准备再去隔壁车间巡视一下。💇🏰临走之前,他向胡明镇要了一份这台光🍒🇞🙩刻机装配和调试的工程进度表。

    “🄠⚣📍许董,如果一切顺利,我们会在元🉢🉄月🛡🝼28日左右开始试生产,并且用这台光刻机来流片。”胡明镇比较忙,跟许振鸣说了几句,又开始投入工作。

    许振鸣见此,拿着一摞用a4纸打印的资料,一边翻看着一边朝隔壁的📷🟡🞩车间走去。

    “三天内完成设备组装和安装,五天内调试好这台设备,🔏⛌第九天以后开始做试生产的准备嗯,这个计划还算可以。”

    许振鸣一边走路一边颔首点头,认为胡明镇的工作做得不错,准🄒☥🁝备很充分。

    不多🎷久,他来到4号钢构厂房的另🚦🕦🋵外一个光刻室。

    这间光🃁刻室是用来安装国产光🋣🛌刻机的生产车间。🛝🝗🋑

    车间里此时也🄃🞊💞非常忙碌,万宁古、何昌林和郝宁等人也正在装配🄒☥🁝第三代光刻机。

    他们这边的进度好像要快了许多,激光光路系统的部件已经组装完成,光刻机的主体系统也已经组装好。万古宁等人正在召开现场讨论会💶🖓💏,好像要准备进行光刻机的总装工序。

    看到这种情况,许振鸣倒是不理解,“老万,你们⛳🞝这🛬🟚边🋔🙆🈊的进度为啥要快一些?”

    “许董,这台光刻机的主要部件我们都已经准备好,就等着总装和调试。”万宁古告诉许振鸣这台光刻机的激光光路系统是🎎🏿进口货,其实根本不要检验其性能。最关键🁋的事情就看光刻机总装以后的效果。

    “光刻机的精度主🇶要是受主体系统、底座、横移、减震等子系统的影响。万一这台设备的主体机械系统精度不够,我们的项目还是没成功。”

    说到最后,万宁古的眉毛全都皱了起来。他对📢🜤🄇这台光刻机主体系统的精度很担心,心里没有十足的把握。