怪不得廖青山都走不动道了。
“……这个二期厂房?”廖青山不确定地问道。
顾松笑着说:“等咱们自己的浸润光刻机进来,直接生产内存。”
廖青山愣了几秒才开始迈腿喃喃道:“牛逼了。”
顾松又拍拍他的肩膀:“过完年一起跟我去ISSCC震震他们。”
廖青山舔了舔嘴唇,好刺激的样子。他着急地问道:“流片呢?”
“倪院士那边会联系你的。这个流片就直接等3月份专项科研基金项目验收完,运抵这边之后用咱们的浸润光刻机来做。”
“这……这可太牛逼了……”廖青山没想到从湾积电到这边来才三年,现在都可以立刻玩玩浸润光刻机了。
他一边走一边问:“咱这机器,和XT1700i相比怎么样?”
现在,ASML的第一代浸润光刻机是做出来了的,刚刚才发布。双工作台,1.2的数字孔径,可以在45纳米制程下每小时加工寸晶圆。
顾松笑道:“就看你能玩得这么样了。参数上,比XT1700i是差那么一些。不过新玩意,大家都有一个上手的过程,你的优势在于有最好的技术支持!”
廖青山请顾松坐到办公室的沙发上,一边倒着热水一边问道:“65纳米?每小时可以加工多少片?”
顾松叹气:“制程这一块也是能做45纳米量产,就是尖端机床也才出来,工艺水平得要一段时间才能赶上。虽然也是个双工作台,但一小时能加工的12寸晶圆,只能达到70多片的水平吧。”
“已经很牛逼了,已经很牛逼了。”廖青山端水过来的手都有点抖。
顾松赶紧接过来,喝了一口觉得暖和多了。
这真是三年磨一机啊。沪海微电子装备集国相关单位之力,用了一年半时间才完成一套浸润式光刻魔改方案,在和舰科技那边试验成功。又用了一年半时间,才把这一台浸润式光刻样机搞出来。
这还是有顾松程帮着做攻关的情况下。
而尖端机床也一样,四大机床厂,汇聚了最顶尖的力量,才弄出一台“尖端”机床。
“……这个二期厂房?”廖青山不确定地问道。
顾松笑着说:“等咱们自己的浸润光刻机进来,直接生产内存。”
廖青山愣了几秒才开始迈腿喃喃道:“牛逼了。”
顾松又拍拍他的肩膀:“过完年一起跟我去ISSCC震震他们。”
廖青山舔了舔嘴唇,好刺激的样子。他着急地问道:“流片呢?”
“倪院士那边会联系你的。这个流片就直接等3月份专项科研基金项目验收完,运抵这边之后用咱们的浸润光刻机来做。”
“这……这可太牛逼了……”廖青山没想到从湾积电到这边来才三年,现在都可以立刻玩玩浸润光刻机了。
他一边走一边问:“咱这机器,和XT1700i相比怎么样?”
现在,ASML的第一代浸润光刻机是做出来了的,刚刚才发布。双工作台,1.2的数字孔径,可以在45纳米制程下每小时加工寸晶圆。
顾松笑道:“就看你能玩得这么样了。参数上,比XT1700i是差那么一些。不过新玩意,大家都有一个上手的过程,你的优势在于有最好的技术支持!”
廖青山请顾松坐到办公室的沙发上,一边倒着热水一边问道:“65纳米?每小时可以加工多少片?”
顾松叹气:“制程这一块也是能做45纳米量产,就是尖端机床也才出来,工艺水平得要一段时间才能赶上。虽然也是个双工作台,但一小时能加工的12寸晶圆,只能达到70多片的水平吧。”
“已经很牛逼了,已经很牛逼了。”廖青山端水过来的手都有点抖。
顾松赶紧接过来,喝了一口觉得暖和多了。
这真是三年磨一机啊。沪海微电子装备集国相关单位之力,用了一年半时间才完成一套浸润式光刻魔改方案,在和舰科技那边试验成功。又用了一年半时间,才把这一台浸润式光刻样机搞出来。
这还是有顾松程帮着做攻关的情况下。
而尖端机床也一样,四大机床厂,汇聚了最顶尖的力量,才弄出一台“尖端”机床。